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高純度晶體硅材料也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)

日期:2024-05-06 閱讀:491
  活性硅(單體硅)和膠體硅(多元硅)以兩種形式存在:膠體硅沒有離子特性,但規(guī)模相對較大,膠體硅可以被精細(xì)的物理過濾過程攔截,如反滲透,也可以通過凝結(jié)技術(shù)降低水含量,如混凝澄清池,但那些需要依靠離子電荷特性的分離技術(shù),如離子交換樹脂和連續(xù)電去離子過程(CDI),去除膠體硅的效果非常有限。
  活性硅的尺寸遠(yuǎn)小于膠體硅,因此大多數(shù)物理過濾技術(shù),如混凝澄清、過濾和氣浮,不能去除活性硅。有效去除活性硅的過程是反滲透、離子交換和連續(xù)電去離子過程。
  近年來,隨著全球石油、煤炭等化石能源的枯竭,太陽能變得越來越重要。清潔新能源,全球太陽能產(chǎn)業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展時期。同時,高純度晶體硅材料也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。隨著全球太陽能產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,實驗室純水設(shè)備對硅片的需求急劇增加。在硅片加工過程中,高達(dá)50%~52%的晶體硅以硅粉的形式丟失。含硅廢水中的硅粉非常薄,粒徑在0.1~1mm范圍內(nèi)。大部分小顆粒懸浮在水中,難以沉積。即使靜置半年以上,含硅廢水仍處于渾濁狀態(tài)。
  由于硅廢水中硅粉顆粒較小的純水設(shè)備,過濾處理后的水濁度仍較高,難以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn),過濾效率低,濾布更換周期短,成本高。
  目前,硅片加工企業(yè)的硅廢水處理方法,主要是按照含有一般懸浮物的廢水處理方法進(jìn)行處理,即添加絮凝劑(如聚合氯化鋁、聚合氯化鐵、聚丙烯酰胺等)。是含硅廢水的絮凝沉淀,然后壓濾固液分離。硅廢水處理方法效率低、成本高、處理效果差。
  鑒于現(xiàn)有技術(shù)的缺點和不足,有一種含硅廢水的除硅處理工藝。含硅廢水處理工藝簡單,處理過程中不需要添加化學(xué)物質(zhì),以免二次污染環(huán)境。除硅處理率高達(dá)99%,可用于大規(guī)模處理。含硅廢水經(jīng)以下方法處理后,出水量可穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。
 ?。?)將硅原水收集到原水收集池中,用提升泵將硅原水泵電解到電解槽中,然后將電解水放入沉淀池中,自然靜態(tài)分層。
 ?。?)排出電解自然分層處理后的下沉淀物,回收或排出分層處理后的上清液;在電解過程中,在電能的作用下,陽極緩慢溶解,產(chǎn)生Al、Mg等離子體聚合產(chǎn)生多種羥基絡(luò)合物、多核羥基絡(luò)合物和氫氧化物。顆粒水解聚合物具有正電荷,比游離水合鋁離子更能吸收污染物雜質(zhì)的負(fù)電荷表面,使廢水中的膠體雜質(zhì)和懸浮雜質(zhì)凝結(jié)沉淀,通過網(wǎng)絡(luò)捕獲去除硅,帶電污染物顆粒在電場游泳,部分電荷被電極中和,促進(jìn)其穩(wěn)定沉降,然后通過電中和去除水中的硅。
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